國產高端光刻膠迎突破,可用於7nm晶元製造,能打破美日壟斷嗎? 我國首條高端光刻機生產線的建成
作為晶元生產製造環節當中的重要材料,光刻膠可以說是其核心之一。其能夠起到「將設計的圖像,自模板轉移到晶圓表面合適位置」的作用。基於此點,光刻膠材料的好壞,對於晶元產品的精密度、性能等都將產生重要的影響。 然而雖然我國也...
作為晶元生產製造環節當中的重要材料,光刻膠可以說是其核心之一。其能夠起到「將設計的圖像,自模板轉移到晶圓表面合適位置」的作用。基於此點,光刻膠材料的好壞,對於晶元產品的精密度、性能等都將產生重要的影響。 然而雖然我國也...